影像式量測顯微鏡-ZS Series

ZS Series

■ZS系列是本公司長青系列,自西元1995年底開機完成至今,亦是台湾第一台影像式量測顯微鏡,從機構設計、材料變更、加工方式創新、影像訊號向上提升、尋求更佳的照明方式,甚至因應客户需求,開發出一套功能完整,操作簡單又人性化的量測軟體。

■X、Y平台的部品加工程序要求甚嚴,曾多道粗加工到精加工均要求其每道加工的加工量,避免因加工量過大產生太高的加工温度而造成材料的熱變形及内部的加工應力,因此可保持長久的精度壽命。另外,平台的X及Y軸各自為獨立部品,所以平台其直角度是可調整的。本公司產品出廠時直角度要求在1um/100mm。

■主體以花崗石為架構,各部重要尺寸均要求符合DIN00级規範,尤其主軸經力學設計不會產生前傾力偶,亦可保垂直度。

機械規格

ZS-3020V/VP

ZS-3020V/VP -CNC

ZS-4030V/VP

ZS-4030V/VP -CNC

X-Y軸移動範圍(mm)

300×200

400×300

Z軸移動範圍(mm)

130

200

130

150

光學尺

Renishaw 0.4um

線性精度

U1=3+( 6L /1000)um U2=4+( 6L /1000)um

基座(Y軸)
花崗石符合DIN00级
主軸

花崗石符合DIN00级

Z軸

花崗石符合DIN00级

重量

220KG

220KG

250KG

250KG

主機尺寸

670×450×1500

670×600×1500

電器控制规格
 

ZS-3020V/VP

ZS-3020V/VP -CNC

ZS-4030V/VP

ZS-4030V/VP -CNC

CCD CAMERA

日本SENTECH 41萬Pixel

PROBE(兩機一體)

VP:英國Renishaw MCP接觸式測頭

鏡頭* 1

0.7-4.5X(20-150X)

表面照明(白光)

LED環形光(可16分割)

輪廓照明(白光)

LED

控制量測系统
MI2.5/3D手動
MI2.5D/3D-CNC
MI2.5D/3D手動
MI2.5D/3D-CNC
驅動
手動
日系AC伺服馬達
手動
日系AC伺服馬達
控制方法
X-Y軸可快速移動,
Z軸手動
搖桿&CNC;
X-Y軸可快速移動,
Z軸手動
搖桿&CNC;

電力供應

100-240V/1KVA

220/3KVA

100-240V/1KVA

220/3KVA

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